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发布时间:2021-11-06 00:32:22
真空镀膜机的真空室该如何设计呢?
真空镀膜机相比大家都存有疑惑,今天来讨论一下的是关于真空镀膜设备真空室的设计问题,要是您有兴趣了解的话可以和宝瑞钛金一起来看看下面的内容。
真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。
真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。
中频磁控溅射镀膜设备有哪些特点
中频磁控镀膜设备溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术,它优于直流磁控溅射镀膜。中频磁控镀膜设备溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术,它优于直流磁控溅射镀膜的特点是克服了阳极消失现象;减弱或消除靶的异常弧光放电。因此,提高了溅射过程的工艺稳定性,同时,提高了介质膜的沉积速率数倍。
新研发平面靶,圆柱靶,孪生靶,对靶等多种形式的中频溅射靶结构和布局。该类设备广泛应用于表壳、表带、手机壳、高尔夫球具、五金、餐具等镀TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各种装饰镀层。
柔性电子卷绕真空镀膜设备
HCFLC系列卷绕镀膜设备为各种各样的柔性和可穿戴电子产品,传感器,RFID标签,智能玻璃,智能包装等提供了一种非常有竞争力和成本效益高的薄膜涂层技术。高质量低电阻率铜或TCO层和结构的应用,在满足当今和未来市场需求的同时,成功地弥合了生产率和多功能性之间的差距。
HCFLC系列是生产和研发的良好选择。几乎无限的可能性,在安排多达六组可旋转的旋转器和机器的能力,应用大量的现场测量传感器,使机器能够在生产环境中生产,同时又是非常灵活和灵活的,当作为一个研发机器使用。
这也使得该机成为诸如ITO膜、柔性印刷电路板(FPCB)、LOW-E或智能玻璃等应用的。可旋转磁控管,涂层宽度为2000毫米,可能的衬底辊直径为500毫米,是高生产率的基础。
此外,相邻工艺段之间的可选气体分离允许在一个过程中沉积各种各样的金属和电介质层。
除了能够在非反应溅射工艺的同时运行反应溅射工艺外,HCFLC系列还可以配备各种原位传感器,用于连续、准确地监测所需的物理层特性,如层电阻率、反射率或透射比。
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