舟山真空镀膜设备量大从优 至成镀膜设备量身订制

真空镀膜机的结构与工作原理介绍

一、真空镀膜机的结构：

真空卷绕镀膜机由真空罐、真空抽气系统、蒸发系统、卷绕系统、冷却系统及电气系统组成。

真空罐是整台真空镀膜设备的主体部件，其结构为圆柱形筒体，左端为圆形封头封闭，右端的法兰与卷绕车的大圆板对接实现密封。

外部联接抽气管道，内部空间用于在真空状态中镀制产品，分为上下室，上室是基材卷绕室，下室是铝丝蒸发镀膜室。

二、真空镀膜机的工作原理：

真空罐的正面中上部装有可供观察基材运行情况和观察镀层质量的长方形观察窗，正面中下部装有可供观察送丝情况和蒸发舟加热状态的长方形观察窗，同时还装有可供观察收料轴、放料轴运转状况的圆形视窗各一个。

真空罐的背面中下部开有一方形的蒸发镀膜室抽气口，尾部圆封头处开有一圆形的卷绕室抽气口。真空罐的底部装有水箱，用于罐体的冷却，顶部装有真空测量规管用于测量真空室内的压力。

真空镀膜机漏气检修

真空电镀设备漏气问题我们应该如何进行检修呢？真空电镀设备漏气对于设备本身是有大的影响的，因此我们要及时的进行检修维护。

1、要测试好真空室内气体密封性能的比例，确保气密性能够符合要求。

2、然后检查真空镀膜漏孔大小、形状和漏气速度，分析出解决方案并且可以实施。

3、要确认真空电镀漏气是真漏还是虚漏，因为在工件材料加热之后会在不同程度上产生一定的气体，有时候会误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，我们要排除这种情况。

4、确定检测仪器小的检漏率和捡漏灵敏性，以大范围检测出漏气的情况，避免一些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。

5、后还要避免真空电镀漏孔的堵塞，有时候因为操作失误，真空电镀在捡漏中，会有一些灰尘或液体等把漏孔给堵塞了，以为在那位置没有漏孔，但当这些堵塞物由于内外的压强差异提高或会使漏孔不堵了，但是漏气还是会存在的。

真空镀膜机对环境的要求

真空镀膜机在使用的时候，难免会因为使用的问题使得真空镀膜机沾上其他污染物，所以经常清洗真空镀膜机也成为***机器的一个重要部分，在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜之前，对镀膜材料做简单的表面清洁能延长镀膜机使用寿命，因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。

一般在使用中，真空镀膜机常见的污染物有：

1、油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；

2、操作时候的手汗，吹气的时候的水汽和唾液等等；酸、碱、盐类物质清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。

清洁这些污染物可以改进真空镀膜机工作稳定性，使工作可以更顺利的进行。

真空镀膜机设计安全

安全保护系统对任何仪器设备都是很重要的。为保证整机设备和人身安全，对于用户来说，我们设计分配了2级的安全级别，即管理者和操作者。管理者可以修改工艺和参数，而操作者只能执行程序，查阅程序参数。

不论是工作在自动工作方式，还是手动维护方式，输出量的互锁保护都是非常重要的。为防止误操作，我们设计了互锁电路和程序互锁的2级互锁。条件不充分按错键时，系统给予提示不执行错误命令。系统中还增添了某些重要参数的安全区域报警或警告。通过红黄绿三色警示灯和讯响器的控制动作，分别实现各种情况的警示。如工艺过程中工艺气体充气流量稍低于设定流量时，给予黄灯讯响警告仍然继续工作，压力***后流量转为正常，绿色指示灯亮。但当流量低于设定的下限时，红灯点亮报警，停止工艺进程

镀膜机通过用户的使用和生产，证明整个程序化自动控制系统满足了用户的使用要求。

控制系统界面清晰友善、编程简单、操作方便、数据查阅迅速、系统稳定可靠、工艺重复性好，光学减反射膜层的透射率等性能指标完全符合航天GaAs太阳电池的要求，并为今后提高GaAs太阳电池的减反射膜层性能提供了良好的平台。

尽管如此，电子束蒸发镀膜机的发展在国内已有几十年，技术虽不断提高，但比较国外***技术还有一定差距。本文对电子束蒸发镀膜机所应用的控制技术国际上虽然不是很新的技术，但此方面控制系统的应用，在国内生产的真空应用设备上还很少，且要能长期工作稳定可靠，还有很大的发展空间，这是和国内真空行业在真空应用设备上的整体发展水平相关的。