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安庆电弧离子镀膜机价格「至成真空科技」

发布时间:2021-11-11 18:53:54        










真空磁控溅射镀膜机工艺在修建玻璃和汽车玻璃上的运用


修建玻璃有透光和隔热两个基本功用。一般玻璃能透过绝大部分太阳光辐射能量,这对采光和吸收太阳光线的能量非常有利。而关于空间红外辐射,一般玻璃虽能阻挠室内的热量直接透过室外,但热量被玻璃吸收后的二次散热也会构成很大的丢失。跟着经济的开展,一般玻璃已越来越不能满意大家的请求。而阳光操控膜和低辐射膜正好能弥补了一般玻璃在这一方面的缺乏。阳光操控膜能够满意低纬度区域下降室内温度的请求;而低辐射膜则能满意高纬度区域充沛承受太阳辐射能量和大极限阻挠室内热量外流的请求。



真空镀中对底涂层的要求:

①对镀件与镀膜层有良好的接触性能与较高的结合力,热膨胀系数相差小,不起反应,流平性能好。②具有良好的真空性能。底涂层固化后放气量少、热应力小、耐热性能好。③成膜性能好,涂层的致密度、覆盖能力、抗溶剂能力与耐光照能力等性能良好。④与面涂层有良好的相溶性。由于镀膜层极薄有孔隙,要求底涂层和面涂层的溶剂和稀释剂有良好的相溶性。⑤施涂性能良好。流平性能良好,有适当的黏度、固化时间短。 真空镀对面涂层的要求:①与镀膜层要有良好的接触性能;②与底涂层要有一定的相溶性;③成膜性能与施涂性能优良;具有适当的机械强度;④防潮、抗溶剂、耐腐蚀性能好。抗老化性能强。由于产品的特殊需要,在面涂层上还可进一步施涂超硬涂层或彩色涂层等。


真空镀膜机蒸发与磁控溅射镀铝性能

严格控制发Al膜的厚度是十分重要的,因为Al膜的厚度将直接影响Al膜的其它性能,从而影响半导体器件的可靠性。对于高反压功率管来说,它的工作电压高,电流大,没有一定厚度的金属膜会造成成单位面积Al膜上电流密度过高,易烧毁。对于一般的半导体器件,Al层偏薄,则膜的连续性较差,呈岛状或网状结构,引起压焊引线困难,造成不易压焊或压焊不牢,从而影响成品率;Al层过厚,引起光刻时图形看不清,造成腐蚀困难而且易产生边缘腐蚀和“连条”现象。 采用真空镀膜机电子束蒸发,行星机构在沉积薄膜时均匀转动,各个基片在沉积Al膜时的几率均等;行星机构的聚焦点在坩埚蒸发源处,各个基片在一定真空度下沉积速率几乎相等。采用真空镀膜机磁控溅射镀膜方法,由于沉积电流和靶电压可以控制,也即是溅射功率可以调节并控制,因此膜厚的可控性和重复性较好,并且可在较大表面上获得厚度均匀的膜层。


真空镀膜设备中频磁控溅射知识

真空镀膜设备中频磁控溅射知识 源分平衡和非平衡式,平衡式靶源镀膜均匀,非平衡式靶源镀膜膜层和基体结合力强。平衡靶源多用于半导体光学膜,非平衡多用于磨损装饰膜。 不管平衡非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率,可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构,同时溅射速率要减小。旋转磁场多用于大型或贵重靶。如半导体膜溅射。对于小型设备和一般工业设备,多用磁场静止靶源。 用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。


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