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真空磁控溅射镀膜机如何***,及后期发展前景

首先，真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；规范操作人员及操作要求，包括穿戴***的服装、手套、脚套等；严格处理衬底材料，做到清洁干净，合乎工艺要求；源材料符合必

要的纯度要求；保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘***。

真空镀膜技术在电子方面开始是用来制造电阻和电容元件，之后随着半导体技术在电机学领域中的应用，又使这一技术成为晶体管制造和集成电路生产的必要工艺手段。近年来，随着集成电路向大规模和超大规模集成方向发展，从而又对真空镀膜技术提出了新的要求。因而在电机学领域中又产生了一个新的分支—薄膜微电子学。

真空镀膜设备在显示器件方面需求及应用

在显示器件方面，录象磁头、高密度录象带以及平面显示装置的透明导电膜、摄像管光导膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。在元件方面，在真空中蒸发镍铬，铬或金属陶瓷可以制造电阻，在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等可以制造电容器，蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。此外还可以对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品，如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。

真空镀膜设备对镀件与镀膜层有杰出的触摸功能与较高的结合力，真空磁控溅射镀膜机热膨胀系数相差小，不起反响，流平功能好。

真空镀膜设备具有杰出的真空功能。底涂层固化后放气量少、热应力小、耐热功能好。真空磁控溅射镀膜机成膜功能好，涂层的致密度、掩盖才能、抗溶剂才能与耐光照才能等功能杰出。真空磁控溅射镀膜机与面涂层有杰出的相溶性。因为镀膜层极薄有孔隙，请求底涂层和面涂层的溶剂和稀释剂有杰出的相溶性。

真空镀膜设备我们可能见到的有很多，如真空镀膜机等等，这里为大家介绍一种概述电磁屏蔽膜真空镀膜设备，具体如下：

电磁屏蔽膜真空镀膜设备是在手机、笔记本电脑、电话机、DVD等电子产品塑胶外壳表面上镀制电磁屏蔽（EMI）薄膜的设备。该设备利用等离子体表面处理技术，并采用真空蒸发和磁控溅射镀膜工艺相结合，以真空蒸发镀Ag、Cu，以磁控溅射镀Ni/Cr不锈钢，可实现不同电阻要求的EMI镀膜。

电磁屏蔽（EMI）膜真空镀膜设备特点及基本参数：

1.有卧式、立式结构，可实现单面同时镀膜；

2.生产效率,快速度达1分钟/节拍；

3.模组化设，维护方便；

4.镀膜工艺成熟，成品率高；

5.直流磁控溅射阴极可随客户要求选择；

6.真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵组成；

7.大尺寸；2200mm*1200mm(长*宽)；

8.小尺寸；500mm*400mm(长*宽)。