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实验室中使用小型镀膜设备

实验室中使用小型镀膜设备 我们在实验室中使用的基本上都是小型的镀膜设备，下面我们就来了解一下这种设备。 用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所，直径一般为400~700mm，高400~800mm，用不锈钢或碳钢制作，有水冷却装置。 真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。 为了提高镀层厚度的均匀性，真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置，如用行星运动方式，这种运动方式成膜均匀性好，台阶覆盖性能良好，镀件装载量大，可以充分利用真空镀膜室的有效空间，是目前经常采用的运动方式。 排气系统一般由机械泵、扩散泵、管道和阀门组成。为了提高抽气速率，可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此，排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环，也要求确保在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。

浅谈真空镀膜机的定义、原理及应用范围

浅谈真空镀膜机的定义、原理及应用范围 真空镀膜机就是在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜机是指用物理的方法沉积薄膜。 真空镀膜机有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。 真空镀膜机技术初现于20世纪30年代，四五十年始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面（通常是非金属材料），属于物***相沉积工艺。因为镀层常为金属薄膜，故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。在所有被镀材料中，以塑料为常见，其次，为纸张镀膜。相对于金属、陶瓷、木材等材料，塑料具有来源充足、性能易于调控、加工方便等优势，因此种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构材料，大量应用于汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外观不够华丽、耐磨性低等缺陷，如在塑料表面蒸镀一层极薄的金属薄膜，即可赋予塑料程亮的金属外观，合适的金属源还可大大增加材料表面耐磨性能，大大拓宽了塑料的装饰性和应用范围。

真空镀膜机注意事项及***

真空镀膜机注意事项及*** 真空镀膜机的镀膜原理是在高真空条件下，利用电子束对金属或非金属材料加热到适当温度，热蒸发成蒸气分子材料，蒸发出来的分子到处迸射，碰到待镀物体，随之沉积在基材表面形成膜层。真空镀膜机广泛应用于微电子，光学成膜，装饰，表面工程等领域。它在防止油污和工作效率上具有非常好的性能。而想要真空镀膜设备长期稳定的运行，正确的使用及***方法是必不可少的。 开机前要检查水电气是否正常，开机后，光控系统等于要先稳定1小时再使用，镀膜前要检查光控片、晶控片寿命，加料、清洁之类的需要盖上离子源的防护板，防止离子源栅网损坏。为了使光学镀膜机能正常工作，平时需要对机器进行***，定期更换泵油，2个月左右为宜，真空泵也2个月一换，新的真空泵需要在使用半个月就立即更换，定期清洁设备及周边环境，保持设备及环境的干净。