大型磁控溅射镀膜机厂家量大从优「至成真空科技」

真空镀膜机原理和各部件分析

真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。至成真空科技***从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及的***服务***为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。

真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等，腔体由不锈钢"target=_blank>不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

真空镀膜机的维修方法介绍

一、当正在镀膜时真空度突然下降：

1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）

2、坩埚被打穿（更换坩埚）

3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）

4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）

8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）

9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）

二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、***真空、极限真空、保真空：

1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）

2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）

3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）

4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）

5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）

6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）

7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）

8、高低预阀是否密封可靠（注油）

真空镀膜设备的环境要求

由于真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。

我国制定的各种真空镀膜设备的行业标准（包括真空镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备）都对环境要求作了明确规定。只有满足了真空镀膜设备对环境的要求，才能使该设备正常运转，加上正确的镀膜工艺，方能生产出合格的镀膜产品。

真空镀膜设备的正常工作条件

1.环境温度：10~30℃

2.相对湿度：不大于70%

3.冷却水进水温度：不高于25℃

4.冷却水质：城市自来水或质量相当的水

5.供电电压：380V，三相50Hz或220V，单相50Hz，电压波动范围342~399V或198V~231V，频率波动范围49~51Hz；

6.设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。

7.设备周围环境整洁、空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。